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多維精密調整架坐標解耦合

來源: 發布日期 2019-03-04 11:12 瀏覽:

裝調光學元器件的調整,實際上就是對其六個自由度中的幾個自由度進行調整。
不同的光學調整架基本設計理念都是為了實現對一個或多個自由度進行調整并保證調整精度。實驗中,常用的是對光學元器件五個自由度進行調整的五維調整架。
對于五維光學調整架,由于受系統安裝空間的限制、系統裝調狀態的要求、機械結構設計難度以及加工工藝的限制,調整架的三維平移調整自由度之間無法做到兩兩正交;二維旋轉自由度的回轉中心和光學元器件的光學中心無法做到重合;因此在進行五個自由度調整時,各維調整量之間存在坐標耦合,即調整其中的一維,會引起其它另一維甚至幾維的變動。一般在光學系統裝調實驗中,由于無法對各位置調整量之間的坐標耦合關系進行量化和補償校正,通常忽略坐標耦合情況。但是,忽略坐標耦合關系會造成實際機械調整量和光學調整量的期望值之間存在差異,因而,也影響光學系統裝調過程的收斂速度。

三維調整架